Přehled produktu
Titanové naprašovací terče jsou vysoce-spotřební materiály používané v systémech PVD (Physical Vapour Deposition) k nanášení tenkých filmů titanu nebo titanových-sloučenin na substráty. Naše terče, navržené pro rovnoměrné rychlosti naprašování a minimální tvorbu defektů, podporují vysoko-výkonové impulsní magnetronové naprašování (HIPIMS) a DC/RF magnetronová nastavení napříč polovodičovými, optickými a dekorativními lakovacími linkami.
Technické specifikace
|
Parametr |
Rozsah specifikace |
|
Materiálová čistota |
99,9 % (3N) až 99,999 % (5N) |
|
Standardní třídy |
ASTM B348 Stupeň 1 / Stupeň 2 (CP Ti), slitiny titanu (např. TiAl, TiSi) |
|
Hustota |
>= 4.51 g/cm3 (>99,5% teoretická hustota, měřeno podle Archimédova principu) |
|
Průměrná velikost zrna |
< 100 um (fine, equiaxed microstructure) |
|
Rozměry (rovinné) |
Délka do 3000 mm, Šířka do 800 mm, Tloušťka 3-25 mm |
|
Rozměry (otočné) |
Vnější průměr do 400 mm, délka do 4000 mm |
|
Opěrná deska |
OFHC měď (C10200 / C11000) nebo hliník (6061) |
|
Technologie lepení |
Lepení indiem, elastomerové lepení nebo difúzní lepení (míra pórovitosti < 1 %) |
Klíčové vlastnosti
Jemná mikrostruktura
Řízené termo{0}}mechanické zpracování poskytuje průměrnou velikost zrna pod 100 um, což zajišťuje jednotné profily eroze a zabraňuje preferenčnímu rozprašování.
Kontrola čistoty plynu
Procesy vakuového indukčního tavení (VIM) a tavení elektronovým svazkem (EBM) přísně minimalizují intersticiální plynové nečistoty (O, N, H, C).
Lepení s vysokou tepelnou vodivostí
Difúzní nebo indiová vazba na měděné opěrné desky OFHC zabraňuje deformaci cíle a předčasnému praskání při výboji plazmy s vysokou-hustotou.
Nízká tvorba částic
Vysoká hustota a absence vnitřních mikro-dutin potlačuje jiskření a tvorbu uzlů během dlouhých nástřiků.
Aplikace
Polovodiče a mikroelektronika
Depozice bariérových vrstev, kontaktních vrstev a propojovacích zárodečných vrstev při výrobě IC.
Ploché displeje (OLED/LCD)
Tvorba vodivých a pixelových -tenkých{1}}vrstvých tranzistorů (TFT).
Optické povlaky
Anti-reflexní (AR) vrstvy, filtrační vrstvy a architektonická výroba nízko{1}}E skla.
Dekorativní tvrdé nátěry-odolné proti opotřebení
Depozice TiN, TiCN a TiAlN na řezné nástroje, automobilové komponenty a sanitární zařízení.
Výrobní postup:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Lepení.
Vlastní schopnosti:Vlastní geometrie (obdélníkové, kruhové, segmentové, otočné), přizpůsobené návrhy chladicích kanálů nosné desky a specifické požadavky na orientaci zrn.
Vlastní{0}}obrábění:CNC frézování a soustružení dosahuje rozměrových tolerancí v rozmezí +/- 0.1 mm a drsnosti povrchu až Ra 0,4 um.
Kontrola kvality a certifikace
Analytické testování
Hmotnostní spektrometrie s doutnavým výbojem (GDMS) pro analýzu stopových prvků; LECO analyzátory plynu pro kvantifikaci kyslíku, dusíku a vodíku.
Strukturální inspekce
Ultrazvukové testování (UT) prováděné na 100 % lepených terčů k ověření integrity spoje a detekci dutin na rozhraní.
Sledovatelnost
Každý cíl je dodáván s Certifikátem analýzy (COA) s podrobnými informacemi o přesné čistotě šarže, rozkladu nečistot v ppm a výsledcích testu hustoty.
Balení a dodání
Obal
Vakuové-zatavené v anti-statických polyetylenových sáčcích, které jsou uvnitř vyztužených exportních-dřevěných beden zabalené s pěnou absorbující nárazy-, aby se zabránilo oxidaci a mechanickému poškození při přepravě.
Dodací lhůta
2 až 3 týdny pro standardní rovinné rozměry; 4 až 6 týdnů u vlastních otočných nebo difúzně{4}}spojených konfigurací.
Přepravní podmínky
FOB, CIF nebo DDP prostřednictvím letecké nebo námořní dopravy.
FAQ
Vyžádejte si cenovou nabídku
Chcete-li obdržet technický návrh a cenovou nabídku pro váš konkrétní depoziční systém, uveďte model vašeho PVD systému, požadovanou čistotu, rozměry a odhadovaná množství. Náš technický tým odpoví do 24 pracovních hodin s dostupností materiálu a harmonogramem dodávek.
Jsme profesionální výrobci a dodavatelé titanových naprašovacích terčů v Číně, specializovaní na poskytování vysoce kvalitních přizpůsobených služeb. Neváhejte a kupte si slevové titanové naprašovací terče na skladě a získejte bezplatný vzorek z naší továrny. Pro cenovou konzultaci nás kontaktujte.